Sonotec  SEMIFLOW CO.65超聲波夾式流量計

SEMIFLOW CO.65超聲波夾式流量計非常適合半導體行業中使用各種磨料、粘合劑、腐蝕性和高純度液體的一系列工藝。為了確保這些過程的穩定性和高質量，持續監測硬塑料軟管和管道的流量非常重要。

這些傳感器配備集成電子單元，可作為完整的流量計，其尺寸與小型傳感器相同，無需外部電路板或測量傳感器。

產品優勢

高精度非接觸式流量測量

創新的非接觸式夾緊機構可防止污染和泄漏，從而延長正常運行時間

在 PFA、PTFE 和其他硬塑料軟管和管道上的應用

更換或改造傳感器時不會造成成本高昂的流程中斷

用于潛在爆炸區域的傳感器套件（ATEX / IECEx – Ex Zone 1）

支持所有常見工業接口

特征

用于半導體行業流量監測的SEMIFLOW ® CO.65 傳感器

很好的測量性能

實時測量瞬時流量和體積計數

可靠的流量測量高達 400 l/min

精度為 +/- 2%

塑料外殼 (PVC-C) 和塑料對接連接器 (PA)

技術參數

測量周期：10ms

工作電壓：12 — 30VDC

最大能量消耗：30mA

環境溫度：0 — +90°C

SEMIFLOW CO.65 超聲波夾式流量計應用領域

晶圓清洗系統

光刻系統

攪拌站

化學品供應系統

漿料線

Sonotec  SEMIFLOW CO.65超聲波夾式流量計